一种铌掺杂二氧化钛透明导电膜的制备方法

摘要

本发明公开一种铌掺杂二氧化钛透明导电膜的制备方法，包括以下步骤：（1）制备TiO2与Nb2O5共掺的氧化物陶瓷靶材，（2）磁控溅射法制备铌掺杂二氧化钛透明导电膜；本方法制备的铌掺杂二氧化钛透明导电膜载流子浓度大为增加，薄膜导电性能更好，折射率达2.4～2.7，比ITO、AZO高，与薄膜硅材料折射率更为匹配，有利于减小光线在两介质界面传输的损失，增加光线的透过率和电池对光的吸收率，提高电池光电转换效率，适用于硅基薄膜太阳能电池的前电极，尤其是非晶硅/微晶硅叠层电池的前电极，比ITO、FTO、AZO在高还原性气体的气氛中更为稳定，不会被还原而影响其性能，从而保持了透明导电膜作为前电极的光电性能。