公开/公告号CN102907181A
专利类型发明专利
公开/公告日2013-01-30
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201180025294.8
申请日2011-05-20
分类号H05H1/24;H01L21/3065;H01L21/205;
代理机构北京东方亿思知识产权代理有限责任公司;
代理人王安武
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2024-02-19 17:57:55
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-02-15
授权
授权
2013-05-08
实质审查的生效 IPC(主分类):H05H1/24 申请日:20110520
实质审查的生效
2013-01-30
公开
公开
机译: 通过冷却剂流量控制和加热器占空比控制的组件温度控制
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