一种具有阶梯光栅反射镜的波导耦合器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种具有阶梯光栅反射镜的波导耦合器，包括衬底、缓冲层、波导、锥形波导、光栅反射镜和光纤，光栅反射镜的反射面设有阶梯光栅，缓冲层固定连接在衬底的顶面，波导、锥形波导和光栅反射镜固定连接在缓冲层的顶面，锥形波导的高度等于波导的高度，锥形波导的一端为窄端，锥形波导的另一端为宽端，且锥形波导的窄端与波导的输入端固定连接，锥形波导的宽端与光栅反射镜的反射面相对，光纤竖直放置，光纤位于光栅反射镜的上方，且光纤的输出端与光栅反射镜的反射面相对。该波导耦合器可使光纤和波导实现高效耦合，具有较大的对准容差。同时，本发明还公开了该波导耦合器的制备方法，该方法简单，且与MOS工艺兼容。