一种基于含钛金属有机骨架材料的湿敏传感器及制备方法

摘要

本发明具体涉及一种含钛金属有机骨架材料MIL-125(Ti)湿敏传感器及制备方法。首先采用丝网印刷法在陶瓷衬底上制备Au金属叉指电极，采用水热法制备MIL-125(Ti)敏感材料，采用涂覆的方法，将敏感材料涂覆在金属叉指电极上，制成湿敏元件。采用的测试湿度范围为33％～100％RH，采用的测试电压为1V，频率为100Hz。本发明制备MIL-125(Ti)湿敏传感器具有制备工艺简单、器件体积小、适于大批量生产，对湿度有较高的灵敏度、较小的湿滞和较快的响应时间，在湿敏探测方面显示着巨大的应用价值。