新型串联式线圈电磁能量采集器

摘要

本发明涉及微机械系统制造领域，具体涉及微纳米加工技术领域，尤其涉及一种可集成化加工的振动能量采集器的制造方法，包括任选的处理基底；电镀Cu线圈；电镀Cu支撑柱；电镀Cu振动板与折形梁；电镀永磁体阵列；去胶，去种子层切割得到电磁式能量采集器。这种能量采集器能够通过线圈的串联来提高输出电压。通过永磁体CoNiMnP合金的制备可以实现整体集成化加工的要求。同时新结构的设计使得能量采集器的输出电压有较大的提升，使得采集能量的效率得到了极大的提升。同时，通过改变永磁体阵列的几何尺寸和摆放位置，也可以实现对能量采集器的优化。通过振动板与折形梁的厚度和长度的改变，可以实现对输出电压和谐振频率的改变。