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感光性组成物、成形物的制造方法、成形物及半导体装置

摘要

本发明提供一种保存稳定性、UV硬化性优异,且可形成具有耐热性的成形物的感光性树脂组成物、成形物的制造方法、成形物及半导体装置。一种成形物的制造方法,其包含如下步骤:于第1板(1)及第2板(4)的任一方上涂布感光性组成物的步骤,对第1板(1)与第2板(4)进行按压的步骤,于按压所述板的状态下进行曝光的步骤,使第1板(1)与第2板(4)分离的步骤,对感光性组成物涂膜(3)进行加热的步骤,所述感光性组成物包含(a)特定的硫醚化合物,(b)光聚合引发剂、及(c)于1分子内具有1个~6个(甲基)丙烯酰基的化合物。

著录项

  • 公开/公告号CN102955360A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2013-03-06

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 JSR株式会社;

    申请/专利号CN201210246030.1

  • 发明设计人 末光由树;川岛直之;菅原周一;

    申请日2012-07-16

  • 分类号G03F7/027;G03F7/004;G03F7/00;G02B3/00;

  • 代理机构北京同立钧成知识产权代理有限公司;

  • 代理人臧建明

  • 地址 日本东京港区东新桥一丁目9番2号

  • 入库时间 2024-02-19 17:18:13

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-01-11

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G03F7/027 申请公布日:20130306 申请日:20120716

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2014-04-02

    实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/027 申请日:20120716

    实质审查的生效

  • 2013-03-06

    公开

    公开

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