法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-01-11
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G03F7/027 申请公布日:20130306 申请日:20120716
发明专利申请公布后的视为撤回
2014-04-02
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/027 申请日:20120716
实质审查的生效
2013-03-06
公开
公开
机译: 制造工序制造方法:感光性膜共聚物,感光性膜共聚物,感光性膜,感光性膜,半导体装置及半导体装置的制造方法
机译: 化学放大正型感光性树脂组合物,模板化基板的制造方法以及镀覆成形品的制造方法
机译: 残余物成形方法和残余物成形装置以及金属制品的制造方法