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一种以Zn膜为基材直接制备N掺杂ZnO薄膜的方法

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摘要

本发明公开一种以Zn膜为基材直接制备N掺杂ZnO薄膜的方法，包括以下步骤：选用清洁Si片作为衬底材料，以纯度99.99%的金属锌作为溅射靶材；当溅射腔室中真空度达到1.0×10

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2015-04-08

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C14/08 申请公布日:20130213 申请日:20121120

发明专利申请公布后的视为撤回
2013-05-15

实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/08 申请日:20121120

实质审查的生效
2013-02-13

公开

公开

1. 一种以Zn膜为基材直接制备N掺杂ZnO薄膜的方法 [P] . 中国专利： CN102925856A . 2013-02-13
2. 一种水溶性Zn掺杂的Zn:CdTe量子点的微波制备方法 [P] . 中国专利： CN104974760A . 2015-10-14
3. silk film, fabric engineering construction, methods for preparing a silk film, for covering a surface of a substrate with a silk composition, and for embedding at least one active agent in a silk film, and, film-coated substrate. sedal film [P] . BRPI0920453A2 . 2015-12-22

机译：丝膜，织物工程构造，制备丝膜的方法，用丝组合物覆盖基材的表面以及将至少一种活性剂包埋在丝膜中的方法，以及涂膜的基材。胶膜
4. A ZNS NANOWIRE, A METHOD OF PREPARING THE SAME, A ZNS PHOSPHOR COMPRISING THE SAME AND A DISPLAY DEVICE COMPRISING THE ZNS PHOSPHOR [P] . 韩国专利： KR20060066847A . 2006-06-19

机译： ZNS NANOWIRE，一种相同的制备方法，一种包含相同的ZNS磷和一种包含ZNS磷的显示装置
5. METHOD FOR SYNTHESIZING Pr AND Mn DOPED ZnS WHITELIGHT EMITTING NANOPARTICLE AND METHOD FOR FABRICATING WHITELIGHT EMITTING DIODE USING THEREOF [P] . 韩国专利： KR101089403B1 . 2011-12-07

机译：合成Pr和Mn掺杂的ZnS白光发射纳米粒子的方法及其制备白光二极管的方法