玻璃球面超声聚焦空化增强微反应器及制备方法

摘要

本发明公开一种玻璃球面超声聚焦空化增强微反应器，带有微流道槽、浅槽及微凹点的衬底和对应于微流道槽和浅槽形成玻璃微流道腔和球形玻璃微腔结构的玻璃圆片组合成的系统，该系统包括微反应腔、微气室、微流道、超声激励源、流体入口及出口，结构中利用超声波聚焦于微气室，实现空化增强效果。本发明还公开一种玻璃球面超声聚焦空化增强微反应器的制备方法，先在硅衬底上刻蚀微流道槽及微凹点；在槽内加入碳酸氢钙溶液，再蒸发、加热，最后获得碳酸钙高温释气剂；然后将上述刻蚀有槽及微凹点的硅衬底与硼硅玻璃圆片进行阳极键合，形成密封腔体；加热，高温释气剂放出气体产生的正压力形成小微腔。本发明具有可控性好、空化效果好的优点。