公开/公告号CN102868393A
专利类型发明专利
公开/公告日2013-01-09
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;
申请/专利号CN201210383532.9
申请日2012-10-11
分类号
代理机构北京市德权律师事务所;
代理人刘丽君
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
入库时间 2024-02-19 16:44:52
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-07-01
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H03L7/08 申请公布日:20130109 申请日:20121011
发明专利申请公布后的驳回
2013-02-20
实质审查的生效 IPC(主分类):H03L7/08 申请日:20121011
实质审查的生效
2013-01-09
公开
公开
机译: 一种用于制造毫米波和次毫米波长角天线的优选晶体蚀刻技术
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