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一种快速测量表面束缚电荷密度的方法

摘要

本发明公开了一种快速测量表面束缚电荷密度的方法,该方法通过在待测束缚电荷膜层的上下表面上分别设置下电极层和上电极,将下电极层接地,对上电极和下电极层进行电性连接,并在上电极和下电极层之间串联负载,而后通过在待测束缚电荷膜层的上表面靠近上电极的位置设置导电液滴,导电液滴在待测束缚电荷膜层的上表面铺展,与上电极接触时,产生电流回路;而后测定导电液滴接触上电极时电流回路中的电流大小,进而可通过预先构建的计算模型计算出待测束缚电荷膜层的表面束缚电荷密度。通过以上方式,本发明可实现对表面束缚电荷密度的快速测量,且所需设备和具体操作简单,无需施加外电压,成本低廉。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-01-14

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01R29/24 申请日:20190917

    实质审查的生效

  • 2019-12-20

    公开

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