以石墨烯键长作为计量基准的长度计量溯源方法

摘要

本发明公开了一种以石墨烯键长作为计量基准的长度计量溯源方法，利用石墨烯键长作为长度计量溯源的基准，利用检测的石墨烯键长数量对待检测对象进行长度计量及溯源，实现亚纳米级精度的长度计量溯源。将待检测对象与石墨烯基准样品承载台进行超精密同步运动控制联接，通过扫描的石墨烯键长数量表征石墨烯基准样品承载台的运动长度，实时检测石墨烯基准样品承载台运动，从而获得待检测对象亚纳米级精度的长度计量，实现亚纳米级精度的长度计量溯源；该方法利用石墨烯晶格作为长度计量溯源的基准，具有稳定性高、计量精度可达亚纳米级、简单可靠等特点，在超精密计量溯源领域具有广泛的应用前景。