一种电子辐照下介质材料表面电荷密度的测试方法

摘要

本发明涉及一种电子辐照下介质材料表面电荷密度的测试方法，属于测试领域。所述方法步骤包括静电电容探头的标度，将介质样品材料放置在支撑架上表面，开启抽真空系统抽真空，开启电子枪模拟静止地球轨道（GEO）电子环境，对介质样品材料进行辐照；利用三维传动机构对介质样品材料表面进行扫描测量，通过高阻计和静电电容探头得到介质样品材料表面的电位分布；结合静电电容原理，利用静电电容探头测量电压与介质样品材料表面电荷之间的关系式，计算出介质样品材料的表面电荷分布。所述方法能够拟合得出静电电容的灵敏度和施加电压的线性关系，消除了电子辐照效应，使其适应与电子辐照环境下的测试工作。