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用于抵抗外部施加的力的干涉仪的系统和方法

摘要

描述一种加固型干涉仪的实施例,所述加固型干涉仪包括:光源(210),其产生光束;固定镜面(207);移动镜面(205),其沿着线性路径行进;分束器(215),其将所述光束的第一部分引导到所述固定镜面且将所述光束的第二部分引导到所述移动镜面,其中所述分束器将从所述固定镜面反射的所述第一部分和从所述移动镜面反射的所述第二部分重组;以及伺服控制(203),其在周转周期起始时将相当大程度的力施加到所述移动镜面,其中所述相当大程度的力足以将高速行进的所述移动镜面重导向到所述线性路径上相反的行进方向。

著录项

  • 公开/公告号CN110520700A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-11-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 热电科学仪器有限公司;

    申请/专利号CN201880017534.1

  • 申请日2018-03-14

  • 分类号

  • 代理机构上海专利商标事务所有限公司;

  • 代理人陈洁

  • 地址 美国威斯康星州

  • 入库时间 2024-02-19 16:40:09

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-01-21

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01J3/06 申请日:20180314

    实质审查的生效

  • 2019-11-29

    公开

    公开

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