法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-08-26
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01N23/203 申请公布日:20130109 申请日:20120907
发明专利申请公布后的视为撤回
2013-02-20
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N23/203 申请日:20120907
实质审查的生效
2013-01-09
公开
公开
机译: 分布在抗蚀剂图案尺寸的表面内部的评价方法,光掩模坯的制造方式,光掩模坯及其在表面内的分布方式
机译: 确定金属铸件中孔尺寸和孔分布的方法,包括将测量的孔尺寸和簇中的空间分组,以基于簇到簇的方式生成样品中孔尺寸或孔分布的测量值
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