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一种化学气相沉积法构造半导体与金属硫化物异质电极的方法

摘要

本发明涉及一种化学气相沉积法构造半导体与金属硫化物异质电极的方法,包括以下过程:(1)清洗半导体作为衬底;(2)取金属氧化物粉末和硫粉末;(3)将半导体衬底放在装有金属氧化物的陶瓷舟上,并将陶瓷舟置于真空管式炉中间,随后将装有硫粉的陶瓷舟放置在距离真空管式炉中间上游的15cm处。(4)用真空泵将真空管式炉的石英管内的压强抽至7.5×10

著录项

  • 公开/公告号CN110629195A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-12-31

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 扬州大学;

    申请/专利号CN201910920771.5

  • 发明设计人 许小勇;赵恒;潘楼;王成忠;

    申请日2019-09-27

  • 分类号

  • 代理机构扬州苏中专利事务所(普通合伙);

  • 代理人许必元

  • 地址 225009 江苏省扬州市大学南路88号

  • 入库时间 2024-02-19 16:16:05

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-01-24

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/30 申请日:20190927

    实质审查的生效

  • 2019-12-31

    公开

    公开

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