包括充电/放电设备的电流测量装置和使用其的电流测量方法

摘要

本发明涉及用于测量与作为电流测量对象的被测设备(DUT)的检查有关的电流的电流测量装置、其制造方法以及通过使用该电流测量装置来测量与DUT的检查有关的电流值的方法。具体地，根据本发明的电流测量装置包括：电容器，其被并联连接到作为电流测量的对象的DUT的信号端子；测试模式生成装置，其用于生成测试模式以便操作DUT；以及测量模块，其被连接到与所述DUT的信号端子连接的所述电容器的一端。此外，所述测量模块包括：输入/输出(I/O)缓冲器，其用于通过所述电容器的充电或放电来增大或减小电容器的电荷量，并根据所述电容器的一端的电压来输出与输出逻辑值相对应的信号；时间测量器，其用于测量到达时间，该到达时间是所述电容器的一端的电压从预定的第一电压达到预定的第二电压所经过的时间；以及控制器，其用于控制I/O缓冲器和时间测量器来测量所述到达时间，并进行控制以使得使用所测量的到达时间来测量与DUT的检查有关的电流的值。