执行x射线光谱分析的方法和x射线吸收光谱仪系统

摘要

用于执行x射线吸收光谱分析的方法和x射线吸收光谱仪系统，该x射线吸收光谱仪系统与紧凑的实验室x射线源一起使用，从而以高空间分辨率和高光谱分辨率测量对象中感兴趣元素的x射线吸收。光谱仪系统包括：紧凑的高亮度实验室x射线源；使x射线聚焦通过要检查的对象的光学组件；以及包括单晶分析仪(在某些实施例中还包括镶嵌晶体)的光谱仪，用于将透射射束分散到空间分辨x射线检测器上。高亮度/高通量x射线源可以具有在0到105mrad之间的出射角，并且耦接到光学组件，该光学组件收集高通量x射线并使其聚焦到小于500微米的点上，从而得到高通量密度。光学组件的涂层还可以充当“低通”过滤器，从而允许一次观察到预定带宽的x射线，同时排除高次谐波。