单位放大倍率多光程光路像散补偿方法及其系统

摘要

单位放大倍率多光程光路像散补偿方法及其系统，属于单位放大倍率多光程光路UMS的像散补偿领域，其特征在于，在至少包括White光路，各种改进型White光路，MMS光路在内的UMS光路的输出孔径之后引入一个补偿球面镜，通过调节该补偿镜的半径，光束发散角调整参数，使补偿球面镜和UMS光路整体的像散实现互补，UMS光路的输出光束在该补偿球面镜上反射，其发射子午面尽可能与UMS光路的输出光束弧矢面重合，像散与UMS光路输出光束的像散大小相等，方向相反，实现像散补偿，进一步还可以调节输出光束发散角，使其与后续光路的数值孔径相匹配。