一种基于激光直写技术原位构建复合柔性微纳器件的方法

摘要

本发明涉及微纳器件技术和激光微制造领域，主要涉及一种基于激光直写技术原位构建复合柔性微纳器件的方法。其是根据不同荧光分子被激发电子跃迁所需的脉冲激光强度不同的原理，利用双光子激光直写技术在柔性材料中原位构建复合微纳器件的不同结构域的一种新方法，分别用两种带不同活性基团的荧光团溶液处理水凝胶，根据设计的微图案，分别通过高、低能量的双光子脉冲激光激发从而聚合在水凝胶基底；随后用两种可分别与上述基团结合的纳米材料处理微图案，从而特异性地选区结合在不同区域，再经脱水缩小后，从而形成微纳尺度的复合器件结构。本发明的方法可一步构建复合柔性微纳器件，工艺简单、形成效率高、加工精细度高、应用前景广。