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一种确定介质窗微放电二次电子数目的方法

摘要

一种确定介质窗微放电二次电子数目的方法,首先对二次电子发射的能量和角度进行随机处理,根据初始直流电场和射频场确定电子与介质的碰撞能量,获得二次电子发射系数,根据二次电子产额更新介质表面的累积电荷,并更新直流电场。在微放电分析中采用多个电子进行平均处理,并考虑了直流电场的动态变化,获得动态直流场和射频场耦合作用下的介质窗微放电二次电子数目的变化过程。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-01-03

    实质审查的生效 IPC(主分类):G06F17/10 申请日:20190724

    实质审查的生效

  • 2019-12-10

    公开

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