法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-12-27
实质审查的生效 IPC(主分类):C21D9/00 申请日:20190925
实质审查的生效
2019-12-03
公开
公开
机译: 一种确定热处理炉的预处理条件的方法,热处理炉的预处理方法,热处理装置和用于制造热处理的半导体晶片的方法和装置
机译: 用于检查的热处理炉,具有用于检查的热处理炉的检查装置以及具有用于检查的热处理炉的X射线检查装置
机译: 用于确定热处理炉预处理条件的方法,热处理炉的预处理方法,热处理炉,热处理半导体晶片的热处理炉,方法和装置