基于交流小相位调制的相移量的检测与控制方法及装置

摘要

本发明属于光学测试技术。为提供提高相移精度，提高在非平衡干涉仪中的信噪比和信号稳定性，实现在闭环情况下，通过低精度相移器实现高精度的锁定相移，实现光学表面相位分布的精确测量，本发明采取的技术方案是，基于交流小相位调制相位控制的相移干涉测量方法，包括下列步骤：采用激光器驱动器驱动激光器产生激光，依次经过聚焦透镜、半透半反镜、扩束准直透镜、小半透半反镜、参考镜到达测量镜，小半透半反镜反射信号送入光电探测器PD，半透半反镜反射信号进入摄像机后最终送计算机处理；根据光电探测器PD接收到的信号对激光器驱动器进行正玄调制；改变待测镜和参考镜的相位差α，来实现步进相移。本发明主要应用于光学测试。