公开/公告号CN110441033A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-11-12
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海光学精密机械研究所;
申请/专利号CN201910592982.0
申请日2019-07-03
分类号G01M11/02(20060101);G06N3/04(20060101);G06N3/08(20060101);
代理机构31317 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙);
代理人张宁展
地址 201800上海市嘉定区清河路390号
入库时间 2024-02-19 15:16:43
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-12-06
实质审查的生效 IPC(主分类):G01M11/02 申请日:20190703
实质审查的生效
2019-11-12
公开
公开
机译: 电子束强度分布测量装置,电子束装置,电子束曝光装置和电子束强度分布测量方法
机译: 至少一个调制图像中至少一个光强度和色彩的测量方法和装置
机译: 至少一个调制图像中至少一个光强度和色彩的测量方法和装置