MPCVD装置用托盘本体、确定MPCVD装置用托盘结构的工装和方法

摘要

本发明涉及一种MPCVD装置用托盘本体、确定MPCVD装置用托盘结构的工装和方法。MPCVD装置用托盘本体具有用于支撑放置沉积载体的支撑上侧；托盘本体具有支撑下侧，支撑下侧设有中心台安装结构，用于可拆安装中心导热台，中心导热台用于与冷却台导热支撑配合；支撑下侧设有导热环安装结构，用于可拆安装外侧导热环，外侧导热环用于与冷却台导热支撑配合，导热环安装结构沿托盘本体径向分布有至少两处。可根据实际需要选择安装相应的中心导热台，还可根据实际需要选择性适配外侧导热环，以使托盘与冷却台之间具有沿径向上的多种不同尺寸的接触面积，以组装成多个不同结构的托盘，以便于从中选取径向温度均匀性最优的托盘结构。