一种采用银纳米线柔性电极制备的柔性电容传感器及其制备方法

摘要

本发明涉及一种采用银纳米线柔性电极制备的柔性电容传感器，包括上下两层柔性电极板以及中间的柔性介电层，柔性电极包括：柔性基底、柔性基底内的银纳米线电极薄膜层；电极的制备方法采用转印法，即先在电极模版内制备银纳米线电极薄层，后注入柔性聚合物固化从而将银纳米线导电薄层转移至柔性基底内；所述的柔性介电层分为两种：薄膜结构和多孔结构，薄膜结构采用在硅片上均匀涂抹柔性聚合物预聚体形成薄层制备；多孔结构采用模版法制备，即将柔性聚合物预聚体与食盐均匀混合，制备成膜结构固化，后去除食盐得到多孔介电层结构。该柔性电容传感器制备方法简单，并且具有良好的信号响应。