一种高取向刻蚀金刚石（100）面的方法

摘要

本发明公开了一种高取向刻蚀金刚石（100）面的方法，属于金刚石表面处理领域。主要过程分为金刚石表面净化处理、刻蚀处理、金刚石的热处理、金刚石的提纯和刻蚀剂的回收五部分。本发明操作简单、原料廉价易得、无需使用还原性气体，具有减少污染、降低成本的优势。