一种可见光和近红外波段的全介质角度不敏感超表面透射型长波通光学滤波器及其制备方法

摘要

一种可见光和近红外波段的全介质角度不敏感超表面透射型长波通光学滤波器及其制备方法，属于光学技术领域，本发明在长波波段具有高透射率，在短波波段透射被高度抑制，通过Si层和MgF2层纳米柱阵列中耦合的米氏共振效应产生强反射和吸收，通过双光束干涉紫外曝光光刻和真空磁控溅射沉积镀膜，该滤波器在大入射角下依然有非常高的工作效率，其具有角度不敏感、制作容易，面积大，效率高的优点，在液晶显示器，光通信，传感器检测和成像等方面具有重要的应用前景。