公开/公告号CN110349876A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-10-18
原文格式PDF
申请/专利权人 晶澳太阳能有限公司;
申请/专利号CN201910620608.7
申请日2019-07-10
分类号H01L21/66(20060101);G01B5/02(20060101);
代理机构31300 上海华诚知识产权代理有限公司;
代理人徐颖聪
地址 055550 河北省邢台市宁晋县晶龙大街
入库时间 2024-02-19 14:58:18
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-12
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/66 申请日:20190710
实质审查的生效
2019-10-18
公开
公开
机译: 图案尺寸测量方法,图案尺寸测量设备,用于使计算机执行图案尺寸测量方法的程序以及在其上记录有记录尺寸的方法
机译: 图案尺寸测量方法,图案尺寸测量设备,用于该程序的记录介质并对其进行记录以执行计算机的图案尺寸测量方法
机译: 图案尺寸测量方法,图案尺寸测量设备,使计算机执行图案尺寸测量方法的程序以及其上记录有相同记录介质的记录介质