一种空间角度合束半导体激光器及其制备工艺和合束方法

摘要

本发明涉及一种空间角度合束半导体激光器及其制备工艺和合束方法，空间角度合束半导体激光器包括壳体，安装在所述壳体内的至少一个相变冷却热忱、以及反射镜组，安装在相变冷却热忱上的若干个激光芯片，所述激光芯片上安装有准直镜组；所述反射镜组与设置在壳体上的光纤在一直线上，所述光纤和反射镜组之间设置有耦合镜，且壳体上设置有至少一组与所述相变冷却热忱连接的进口和出口。本发明公开了一种空间角度合束半导体激光器，能有效提高连续输出功率；通过反射镜组得到呈空间角度分布的光簇；利用耦合镜将空间角度分布的光簇合成一束，并通过光纤输出。