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感光性树脂组合物、含杂环聚合物前体、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件

摘要

本发明提供一种环化反应的进行快,并且经时保存稳定性优异的感光性树脂组合物、以及使用了上述感光性树脂组合物的含杂环聚合物前体、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件。所述感光性树脂组合物包含选自聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体中的含杂环聚合物前体和溶剂,上述感光性树脂组合物的固体成分的氨值为0.0002~0.0200mmol/g。

著录项

  • 公开/公告号CN110325911A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-10-11

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 富士胶片株式会社;

    申请/专利号CN201880012501.8

  • 发明设计人 川端健志;岩井悠;涩谷明规;

    申请日2018-02-15

  • 分类号G03F7/027(20060101);B32B15/088(20060101);B32B27/34(20060101);C08G73/06(20060101);G03F7/004(20060101);G03F7/028(20060101);G03F7/038(20060101);G03F7/20(20060101);

  • 代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人曹阳

  • 地址 日本国东京都

  • 入库时间 2024-02-19 14:39:51

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-11-05

    实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/027 申请日:20180215

    实质审查的生效

  • 2019-10-11

    公开

    公开

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