一种微电子封装器件可靠性在线测试装置

摘要

一种微电子封装器件可靠性在线测试装置，包括：箱体，具有一用于放置被测器件的试验腔，并且箱体设有可与试验腔连通的测试窗口，测试窗口内设有多干根测试导线；测试件固定装置，设置于箱体的试验腔内；以及温湿度控制装置，包括控制部和检测部，控制部设置在箱体顶部，用于控制试验腔内的温度和湿度；检测部设置在试验腔内，并且检测部的信号输出端与控制部的信号输入端电连接，用于将试验腔内采集的温度和湿度信息传输给控制部。本发明的有益效果是：1)结构组成设计科学合理，设计的箱体内壁四周设置温湿度传感器，并通过控制器和水箱，给箱体内部提供特定的温湿度测试环境；2)测试窗口内部设置若干测试导线，方便进行实时在线测试。