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公开/公告号CN110249416A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-09-17
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201880009737.6
发明设计人 B·库玛;P·科特努尔;S·巴蒂亚;A·K·辛格;V·B·沙赫;G·巴拉苏布拉马尼恩;C·王;
申请日2018-04-06
分类号
代理机构上海专利商标事务所有限公司;
代理人汪骏飞
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2024-02-19 14:30:36
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-04-17
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20180406
实质审查的生效
2019-09-17
公开
机译: 基板边缘的等离子体密度控制
机译:JETN上用于等离子体密度控制的气体引入模块的非线性模型JET上用于等离子体密度控制的气体引入模块的非线性模型
机译:TJ-II恒星仪中ECRH加热等离子体的密度控制和等离子体边缘表征
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