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电镀金属衬底以获得所需表面粗糙度的方法

摘要

一种电镀金属衬底以获得所需表面粗糙度的方法,包括:使用包含源金属的电镀液来电镀带有源金属的金属衬底,以产生电镀层;以及在所述电镀期间,改变多个电镀参数中的至少一个以获得高于表面粗糙度度量的最小预定值的镀层表面粗糙度度量值。确定金属衬底上镀层的粗糙度度量值包括:获取由放大装置记录的镀层表面的放大图像;识别放大图像中横跨多个像素的路径;以及确定多个像素之间的对比度。

著录项

  • 公开/公告号CN110192268A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-08-30

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 IH知识产权控股有限公司;

    申请/专利号CN201780070572.9

  • 发明设计人 D·G·莱茨;

    申请日2017-10-20

  • 分类号

  • 代理机构广州嘉权专利商标事务所有限公司;

  • 代理人郑勇

  • 地址 美国泽西市

  • 入库时间 2024-02-19 14:26:01

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-11-01

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/44 申请日:20171020

    实质审查的生效

  • 2019-08-30

    公开

    公开

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