一种非接触力式微旋转机构及其制备方法

摘要

本发明公开了一种引力/斥力驱动的非接触力式微旋转机构及其制造方法,属于智能微型器件领域，主要涉及微机电系统技术、精密加工技术、以及精密装配等。该机构采用磁极间相互作用力取代传统通孔轴承压簧定位轴的连接方式，能够优化机构组成部件结构，可极大提高空间利用率。并且，引力式结构还具有削弱电机径向振动的作用，在电机运转过程中，提高转子与定子的同轴度。同时，旋转机构并非直接输出轴功，而是可以在盘状转子上添加结构实现不同的功能，将执行器与控制对象一体化，比如转子为玻璃材料时可在上边添加光栅或者覆滤波膜等得到偏振光或者特定波长的光，可实现电机与滤波轮一体化和芯片化，大幅缩小相关器件的体积。