热评测系统及热评测方法

摘要

在实施例中，一种热评测方法包括：在配置以进行半导体工件制程的平台上生成相变材料，将相变材料设定至非晶态，在半导体加工腔室内执行半导体工件制程，以及沿相变材料测量跨越两点的阻抗。