基于低温液体冷却的扫描电子显微镜制冷系统及方法

摘要

本发明涉及扫描电子显微镜样品台冷却技术领域，提供基于低温液体冷却的扫描电子显微镜制冷系统及方法，该基于低温液体冷却的扫描电子显微镜制冷系统，包括：容器、第一真空腔体和第二真空腔体，还包括样品台、低温冷头以及气源；所述样品台设置于所述容器上，所述低温冷头用于为所述容器提供冷量，所述气源用于为所述容器提供气体，所述低温冷头位于所述第一真空腔体的内部，所述容器和所述样品台位于所述第二真空腔体的内部。该基于低温液体冷却的扫描电子显微镜制冷系统，基于低温液体潜热制冷，在切断低温冷头和容器之间的冷量输送后，系统处于零振动状态，并且样品台能够长时间维持在设定温度，温度波动范围也很小。