一种柔性电阻式湿度传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种柔性电阻式湿度传感器及其制备方法，所述传感器包括柔性基底、石墨烯图案层、外接测量电路，石墨烯图案层设置在柔性基底上，石墨烯图案层与外接测量电路相连，石墨烯图案层的图案是连通的。所述制备方法包含以下步骤：在柔性基底表面，利用为2～5W的CO2激光器激光刻蚀石墨烯导电图案；将所形成的石墨烯图案的两端与外部电阻测量电路连接。本发明的湿度传感器本身是超轻薄的，结构简单；图案设计具有很大发展空间，且能够通过设计不同的图案给出不同的性能表现；能够采用印刷技术进行制备，易于大规模生产制备；具有较高的精度和灵活性。