法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-08
实质审查的生效 IPC(主分类):F27D99/00 申请日:20190430
实质审查的生效
2019-10-15
公开
公开
机译: 可移动调色板的模块,用于在受控气氛下供应冷藏货物-物料例如氮气,氧气,二氧化碳和蒸汽以及其他气体在指定温度下。带有供应模块和货盘的底座面积相同
机译: 通过在氧气氛下快速退火钨接触塞并在氢气氛下还原RTO塞来制造半导体器件的方法
机译: 通过在氧气气氛下快速对钨接触塞进行退火并在氢气气氛下减少RTO塞来制造半导体器件的方法