抗振动菲索干涉测量装置及方法

摘要

本发明公开了一种抗振动菲索干涉测量装置及方法，可降低振动对测量结果的影响。装置包括用于对光源进行扩束准直及偏振态调制的短相干光源模块；用于检测被测镜与参考镜振动相位平面的辅助干涉测量模块；用于测量被测镜相位分布的主干涉测量模块。光源模块为短相干光源，结合迈克尔逊干涉测试光路，可得到一对具有特定光程差的正交线偏振光；主光路与辅助光路分别单独成像获得干涉图，其中辅助光路为双通道设计，可分别测量参考镜与被测镜的振动平面。最后对得到的三组干涉图进行相位解算即可得到被测光学元件面形。本发明的装置和方法不仅抗振动效果好、而且测量精度高，成本较低。