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相互反射检测装置、相互反射检测方法及程序

摘要

相互反射检测装置具备:照射单元,其照射频率可变的正弦波图案的光;图像取得单元,其取得被照射了来自所述照射单元的光的对象物的图像;相位确定单元,其根据所述图像对每个位置确定相位;以及检测单元,其检测发生了相互反射的区域,所述检测单元针对低频和高频的多个组合求出从被照射了低频的正弦波图案的图像得到的相位与从被照射了高频的正弦波图案的图像得到的相位之间的相位差,在针对所述多个组合中的任意组合的所述相位差为阈值以上的区域中,判断为发生了相互反射。

著录项

  • 公开/公告号CN110234954A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-09-13

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 欧姆龙株式会社;

    申请/专利号CN201780085360.8

  • 发明设计人 大西康裕;

    申请日2017-11-28

  • 分类号G01B11/25(20060101);

  • 代理机构11127 北京三友知识产权代理有限公司;

  • 代理人欧阳琴;邓毅

  • 地址 日本国京都府京都市

  • 入库时间 2024-02-19 13:40:32

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-10-15

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/25 申请日:20171128

    实质审查的生效

  • 2019-09-13

    公开

    公开

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