平行度测量装置及方法、打压机平行度测量系统及方法

摘要

本发明实施例提供一种平行度测量装置及方法、打压机平行度测量系统及方法，平行度测量装置用于测量第一表面和第二表面的平行度，包括：准直仪，发射测量光束；第一光学元件，与所述第一表面平行，反射部分所述测量光束至所述准直仪，并透射部分所述测量光束；第二光学元件，与所述第二表面平行，位于所述第一光学元件远离所述准直仪一侧，反射透过所述第一光学元件的所述测量光束至所述准直仪。本发明实施例提供一种平行度测量装置及方法、打压机平行度测量系统及方法，以实现简化平行度测量的过程，提高平行度测量的精度。