非可见光波段埃里斑能量分布及圆整度检测方法

摘要

本技术提供了一种能够对非可见光波段的埃里斑能量分布特性及圆整度的检测方法，光源发出的非可见光波段准直光束，经扩束镜扩束、聚光镜汇聚到聚光镜的焦点位置处的针孔板上，光束经针孔板发散，经分光棱镜后，再经管镜系统以平行光出射，通过被测物镜聚焦在平面反射镜的表面上，光线经反射，沿原光路返回，再经分光棱镜聚焦在CCD10的靶面位置；在被测物镜景深范围内通过调节平面反射镜相对于被测物镜在光轴上的不同位置，寻找被测物镜的焦点位置，并对景深范围内不同位置的埃里斑图像进行采样，并进行能量分布及圆整度分析。光线沿原光路返回一次，被测物镜的像差在采样CCD上放大2倍，被测物镜的埃里斑像差比常规采用透过照明的方式更加易于判别。