测量标记及具有该测量标记的光掩模

摘要

本发明涉及一种测量标记及具有该测量标记的光掩模，测量标记的第一对准标记具有相互垂直连接的第一标记部和第二标记部；第二对准标记具有相互垂直连接的第三标记部和第四标记部，第一对准标记和所述第二对准标记设置在矩形区域中且不同层设置，第一对准标记与第二对准标记围成一非连续对位框，非连续对位框具有定位缺口。光掩模的第一描绘层具有第一图案，第一对准标记位于第一描绘层上；第二描绘层具有第二图案，第二对准标记位于第二描绘层上。本发明实施例的测量标记的第一对准标记和第二对准标记设置在同一个矩形区域中，通过第一对准标记和第二对准标记的布置方式和线宽选择，最大限度的节省了光掩模和晶圆切割轨道的使用空间。