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固化性组合物、固化产物及其生产方法、以及光学组件、电路板和电子组件的制造方法

摘要

本发明涉及固化性组合物、固化产物及其生产方法、以及光学组件、电路板和电子组件的制造方法。提供一种纳米压印用固化性组合物,其即使当在低曝光量下通过光纳米压印方法使所述固化性组合物固化时,也能够形成具有充分固化的表面且图案倒塌缺陷倾向较小的固化产物。提供形成此类固化产物的纳米压印方法。提供即使在低曝光量下固化时图案倒塌缺陷倾向也较小的固化产物,此类固化产物的制造方法,光学组件的制造方法,电路板的制造方法和电子组件的制造方法。一种固化性组合物,其在固化状态下满足式(1):Er

著录项

  • 公开/公告号CN110275394A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-09-24

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 佳能株式会社;

    申请/专利号CN201910396457.1

  • 申请日2015-04-28

  • 分类号

  • 代理机构北京魏启学律师事务所;

  • 代理人魏启学

  • 地址 日本东京都大田区下丸子3丁目30番2号

  • 入库时间 2024-02-19 13:22:15

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-10-22

    实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/027 申请日:20150428

    实质审查的生效

  • 2019-09-24

    公开

    公开

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