柔性OLEM、AMOLEM超薄玻璃盖板薄化工艺

摘要

本发明公开了一种成品率高且品质稳定的柔性OLEM、AMOLEM超薄玻璃盖板薄化工艺，包括以下步骤：一、前清洗；二、一次蚀刻：对各个玻璃板进行化学蚀刻做一次整体强化，将产品厚度化学强化蚀刻至200±10μm；蚀刻结束对产品进行厚度区间分类，每相差5μm为一个区间进行区分，便于后续二次蚀刻作业；三、玻璃板深度薄化前处理：将需蚀刻的同一区间的两片产品分别贴附于支撑板上下表面；然后用耐酸胶带半边将两条短边、长边分别进行封边贴附；使贴合边的三层板状料被胶带完全保护；四、二次蚀刻：过程中需对三层叠装板的固定位置进行测厚作业，直至达到目标厚度：目标厚度＝两枚待蚀刻面玻璃厚度和+支撑板厚度‑减薄量；五、分离产品；六、擦拭；七、外观终检。