公开/公告号CN110316735A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-10-11
原文格式PDF
申请/专利号CN201810261571.9
申请日2018-03-28
分类号
代理机构北京聿宏知识产权代理有限公司;
代理人吴大建
地址 100728 北京市朝阳区朝阳门北大街22号
入库时间 2024-02-19 13:22:15
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-05
实质审查的生效 IPC(主分类):C01B33/12 申请日:20180328
实质审查的生效
2019-10-11
公开
公开
机译: 层状硅质中硅质岩纳米载体
机译: 含磷的硅氮烷组合物,含磷的硅质薄膜,含磷的硅质填料,生产含磷的硅质薄膜的方法以及半导体装置
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