一种粒子轰击下的表面电位自动测量装置及方法

摘要

本公开揭示了一种粒子轰击下的表面电位自动测量装置，包括抽气模块、充电模块和电位测量模块。本公开还揭示了一种粒子轰击下的表面电位自动测量方法。本公开能够研究空间装备在复杂多因素环境中受到空间电子、离子作用下的静电放电机理；通过记录样品表面电位，能够为研究样品表面的充电特性提供依据。