微型气动/液压驱动器及其加工方法

摘要

本发明公开了一种具有褶皱薄膜的微型气动/液压驱动器及加工方法，其中，驱动器包括基底和薄膜，所述薄膜通过沉积方式直接形成在所述基底的表面上且包括贴合部和非贴合部，所述贴合部与所述基底的表面粘合，且所述非贴合部与所述基底的表面形成腔体，所述非贴合部包括可伸展或压缩变形的褶皱结构，所述腔体在流体介质的压力作用下，使得所述非贴合部膨胀并根据所述褶皱结构伸展输出所需变形或位移。本发明的驱动器位移较大、许用驱动气压较高、变形形貌可控，同时驱动器设计与微加工工艺有良好的兼容性，可以实现低成本、高一致性、小尺寸、高密度的微驱动器加工，且便于与同种器件或其他微纳器件及系统进行进一步集成。