一种基于跑道型微环谐振器的Fano折射率传感器

摘要

本发明公开了一种基于跑道型微环谐振器的Fano折射率传感器，包括一个直线信道波导、两个闭合跑道型波导和一个断口跑道型波导；两个闭合跑道型波导位于直线信道波导同侧，且每个所述闭合跑道型波导均包括第一上直道段和第一下直道段；每个所述闭合跑道型波导的第一上直道段均与直线信道波导耦合；所述断口跑道型波导包括第二上直道段和第二下直道段；每个所述闭合跑道型波导的第一下直道段均与第二上直道段耦合，形成两段下耦合区域；且第二上直道段中位于两段下耦合区域之间的部分设置有断口。本发明使用时，输入的光在传感器中经过不同的路径，最终在输出端干涉从而形成尖锐的Fano线形，实现高灵敏度，高品质因子，低误差的液体折射率检测功能。