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用于在沉积系统中无接触运输载具的设备、用于无接触运输载具的系统、以及用于在沉积系统中无接触运输载具的方法

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本公开内容提供了一种用于在沉积系统中无接触运输载具(220)的设备。载具(220)包括：引导结构(210)，所述引导结构具有一个或更多个有源磁体单元(112)，所述有源磁体单元被配置为面对载具(220)的磁体结构(222)；和一个或更多个传感器(230)，所述一个或更多个传感器被配置为检测载具(220)的存在，其中一个或更多个有源磁体单元(112)和一个或更多个传感器(230)被布置为界定用于其间的磁体结构(222)的引导空间(S)。

著录项

公开/公告号CN109983152A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-07-05

原文格式PDF
申请/专利权人应用材料公司;
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申请/专利号CN201780036086.5
发明设计人克里斯蒂安·沃尔夫冈·埃曼;
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申请日2017-10-27
分类号C23C14/50(20060101);C23C14/12(20060101);H01L21/677(20060101);C23C16/458(20060101);G01B7/00(20060101);
代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国;赵静
地址美国加利福尼亚州
入库时间 2024-02-19 13:08:34

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-07-30

实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/50 申请日:20171027

实质审查的生效
2019-07-05

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